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      MF-VO系列真空烘箱
          發(fā)布時(shí)間: 2023-06-28 10:47    

      MF-VO系列無(wú)氧真空烘箱設備是專(zhuān)門(mén)設計用來(lái)滿(mǎn)足半導體行業(yè)集成電路配套烘箱,它具有先進(jìn)的設計理念與工藝技術(shù),可得到質(zhì)量?jì)?yōu)異的品質(zhì)。


      MF-VO系列真空烘箱

      用途特點(diǎn):

      本產(chǎn)品適用于半導體大芯片的加工,面板,模組組件等負壓除泡工藝。用于去除粘接過(guò)程中產(chǎn)生的氣泡。本烘箱采用先真空除泡后無(wú)氧加熱。

       

      技術(shù)特點(diǎn): 

      采用超高真空泵與超高真空比列閥完全控制整個(gè)過(guò)程中真空度;

      多重壓力保護及安全裝置設計;

      可視化窗口設計。

      過(guò)程控制

      多段式程序控制,真空值、溫度、時(shí)間完全按照程序設定運行,完全滿(mǎn)足現場(chǎng)各種工藝需求;

      與配套AUTORECIPE軟件,實(shí)時(shí)溫度、壓力、時(shí)間監控軟件,可實(shí)現產(chǎn)品烘箱運行參數管理與生產(chǎn)運行記錄、烘箱操作日志等,提高生產(chǎn)效率、控制產(chǎn)品品質(zhì)。

      設備特點(diǎn):

      溫度均勻度依照GBT30435-2013;

      設備安全符合TS16949/ISO14001/OHAS18001的標準

      提供高性?xún)r(jià)比的烤箱性能。溫度均勻性、溫度穩定性、溫升速率、溫度恢復時(shí)間等工藝條件;

      滿(mǎn)足SECS/GEM標準的半導體封裝測試設備接口,工廠(chǎng)軟件可通過(guò)其SECS/GEM接口對烘箱進(jìn)行全面控制和監控;

      提供相應的烘箱噪音檢測、表面SGS檢測;

      配套完成的產(chǎn)品使用手冊及說(shuō)明。

       

      型號

      MF-VO****

      1400

      1500

      2400

      2500

      循環(huán)系統

      熱輻射系統

      性能參數

      溫度范圍

      RT. + 25°C~250°C

      溫度波動(dòng)范圍

      100-200℃<±5℃

      真空范圍

      100KPa~0.1KPa

      升溫時(shí)間

      <60Min175℃&  < 80Min200℃

      烘箱結構

      烘箱外腔體選材

      烤漆、不銹鋼

      烘箱內腔體選材

      SUS304

      保溫材料

      高密度陶瓷纖維棉

      加熱

      不銹鋼加熱管

      冷卻方式

      氮氣輔助/自然冷卻/冷卻

      內腔尺寸W *H *D mm

      400 *500* 400

      500 *550 * 500

      400 *500* 400

      500 *550 * 500

      使用環(huán)境

      溫度范圍: 小于 + 45°C  濕度范圍: 小于 75%rh

      真空泵

      單級油封式旋片真空泵 

      動(dòng)力配置

      電源配置

      AC380V3PH

      AC380V3PH

      AC380V3PH

      AC380V3PH

      烘箱功率

      12KVA

      12KVA

      22KVA

      22KVA

        

      基本功能配置:

      漏電保護器;

      加熱保險絲;

      電源缺相保護;

      超溫保護器;

      低溫保護器;

      腔體排氧裝置;

      腔體手動(dòng)泄壓閥;

      腔體內照明;

      加熱及冷卻隔板;

      腔體高低壓檢測裝置;

      真空泵散熱及排氣回路;

      功能選配:

      N2流量檢測;

      高低溫聯(lián)動(dòng)檢測;

      腔體壓力檢測;

      自動(dòng)泄壓閥;










      服務(wù)熱線(xiàn):021-64307580

      傳真:021-64306520
      郵箱:shanghai@mfinetech.com
      地址:上海市金山區春麗路1239號國際中小企業(yè)產(chǎn)業(yè)園   (二期) 3號樓
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