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      MF-OV系列無(wú)氧烘箱(水平送風(fēng))
          發(fā)布時(shí)間: 2023-06-28 09:55    

      MF-OV系列無(wú)氧烘箱設備是專(zhuān)門(mén)設計用來(lái)滿(mǎn)足半導體行業(yè)集成電路配套烘箱,它具有先進(jìn)的設計理念與工藝技術(shù),可滿(mǎn)足不同產(chǎn)品的品質(zhì)要求。


      MF-OV系列無(wú)氧烘箱(水平送風(fēng))

      用途特點(diǎn):

      本產(chǎn)品適用于半導體加工,LCD面板,PDP面板,觸摸屏等生產(chǎn)工藝;該設備采用加熱循環(huán)方式,進(jìn)行精確的溫度控制。

      技術(shù)特點(diǎn): 

      采用水平送風(fēng)系統的高性能腔體;

      烘箱采用雙體式腔設計,內腔采用全不銹鋼鏡面,并且為整體式焊接工藝,保證了設備在運行時(shí)的腔體內清潔和預防了產(chǎn)品表面沾污;

      整體框架的高度和水平度可通過(guò)地腳螺栓實(shí)現微調;

      優(yōu)異的熱工性能,使加熱性能大大提高;

      雙層密封設計,保證更低的能耗,滿(mǎn)足清潔生產(chǎn)的需求。

      過(guò)程控制:

      多段式程序控制,完全滿(mǎn)足現場(chǎng)各種工藝需求;

      與配套AUTORECIPE軟件,實(shí)時(shí)溫度監控軟件,可實(shí)現產(chǎn)品烘箱運行參數管理與生產(chǎn)運行記錄、烘箱操作日志等,提高生產(chǎn)效率、控制產(chǎn)品品質(zhì)。

      設備特點(diǎn):

      堅持工藝優(yōu)先的設計原則,即先制定最為優(yōu)化的工藝配置,再確定設備結構和布局,以確保工藝最穩定,材料利用最合理,力求提升設備穩定性和降低運行成本;

      本著(zhù)人性化的設計理念,即在細節上充分考慮現場(chǎng)情況,并不斷完善設計,使現場(chǎng)使用者更加方便地使用,維護本烘箱;

      可以提供各種標準和非標準腔設計,包括溫度范圍,容量大小和烘箱形狀等;

      溫度均勻度依照GBT30435-2013;

      設備安全符合TS16949/ISO14001/OHAS18001的標準;

      提供高性?xún)r(jià)比的烤箱性能,溫度均勻性、溫度穩定性、升溫速率、溫度恢復時(shí)間等工藝條件;

      滿(mǎn)足SECS/GEM標準的半導體封裝測試設備接口,工廠(chǎng)軟件可通過(guò)其SECS/GEM接口對烘箱進(jìn)行全面控制和監控;

      提供相應的檢測報告,烘箱溫度校正報告、烘箱噪音檢測、烘箱表面SGS檢測等;

      配套完整的產(chǎn)品使用手冊及說(shuō)明。

         

      型號

      MF-OV****

      1800

      2640

      2700

      4500

      循環(huán)系統

      熱風(fēng)循環(huán)系統

      性能參數

      溫度范圍

      RT. + 25°C ~250°C

      溫度波動(dòng)范圍

      0-100℃<±1℃100-200℃<±2℃

      溫度均勻性

      0-100℃<1℃100-200℃<2℃

      升溫時(shí)間

      < 30Min175℃&  < 40Min200℃

      烘箱結構

      烘箱外腔體選材

      烤漆板、樹(shù)脂類(lèi)板、不銹鋼

      烘箱內腔體選材

      SUS304鏡面不銹鋼

      保溫材料

      高密度陶瓷纖維棉

      加熱

      無(wú)塵加熱絲或不銹鋼加熱管

      冷卻方式

      水冷卻、風(fēng)冷卻、多段式冷卻

      內腔尺寸W *H *D mm

      800 *640* 960

      640 *640 * 550

      700 *640 * 560

      500 *640* 500

      外形尺寸W * H *D mm

      1500 * 900 * 1830

      1400* 1050 * 1900

      1460 * 1050 * 1900

      2340 * 1050 * 1900

      容積 (L)

      490

      450

      490

      640

      使用環(huán)境

      溫度范圍: 小于 + 45°C  濕度范圍: 小于 75%rh

      動(dòng)力配置

      電源配置

      AC380V 3PH

      AC380V 3PH

      AC380V 3PH

      AC380V 3PH

      烘箱功率

      13KVA

      20KVA

      20KVA

      40KVA


      基本功能配置:

      漏電保護器;

      電磁門(mén)鎖;

      加熱保險絲;

      電源缺相保護;

      超溫保護器;

      低溫保護器;

      加熱器防干燒保護;

      馬達轉速檢測保護;

      UPS;

      N2壓力檢測;

      N2流量檢測;

      水流量檢測;

      功能選配:

      腔體氧含量在線(xiàn)檢測;

      高低溫聯(lián)動(dòng)檢測;

      腔體壓力檢測;

      自動(dòng)排風(fēng)閥;

      廢氣沉淀回收裝置;

      腔體空燒排污;

      腔體內除塵過(guò)濾網(wǎng)裝置;










      服務(wù)熱線(xiàn):021-64307580

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